電子関連生産施設

二流体式細霧加湿システム 特許出願中

※オーク設備工業株式会社との共同開発

クリーンルーム等の加湿と冷却を行うシステムです。
霧吹きの原理(サイフォン)を利用しているため、制御が単純で、従来の方式に比べて省エネ効果があります。
発生する霧は非常に細かいので、触っても濡れません。

クリーンルームにおける加湿方式の一例

圧縮空気でタンクから水を吸い上げ、ノズル部分で混合噴霧します。 噴霧水が蒸発するとき、気化熱により冷却されます。 発生する霧の粒径は平均約10ミクロンと非常に細かいので、触っても濡れません。

ランニングコストの削減